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Laser-assisted grinding of Silicon Nitride by picosecond laser

Erscheinungsjahr: 2022
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Bibliografische Daten
ISBN/EAN: 9783844087475
Sprache: Englisch
Umfang: 178
Format (T/L/B): 21.0 x 14.0 cm
Auflage: 1. Auflage

Beschreibung

Siliziumnitrid (Si3N4) ist ein ein Hochleistungskeramikmaterial mit außergewöhnlichen mechanischen, thermischen und chemischen Eigenschaften. Trotz aller Vorteile wurde der Einsatz von Si3N4 durch die hohen Bearbeitungs- und Nachbearbeitungskosten erschwert. Hier wurde ein neuartiges lasergestütztes Schleifverfahren entwickelt, um die Materialabtragsraten beim Schleifen von Si3N4 zu erhöhen.

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