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Reaktionsverhalten von Siliciumoberflächen in HF-basierten Ätzlösungen

Untersuchungen an Kristalloberflächen und Vergleich mit geeigneten Molekülsilane

Bod
Erscheinungsjahr: 2015
CHF 113,30
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Bibliografische Daten
ISBN/EAN: 9783838123448
Sprache: Deutsch
Umfang: 288
Auflage: 1. Auflage

Zusätzliche Informationen

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